日 의존도 90% 반도체용 '블랭크마스크' ... SKC, 올 하반기 국내 양산
日 의존도 90% 반도체용 '블랭크마스크' ... SKC, 올 하반기 국내 양산
  • 서무열 기자
  • 승인 2020.04.20 20:30
  • 댓글 0
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회로 패턴 그리기 전의 포토마스크 원판
일본 수입 상위 20대 핵심 소·부·장 품목
20대 품목 내년까지 수입국 다변화 추진

 

 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크마스크 시제품을 SKC 연구원이 검사하고 있다.
(SKC 제공)/한국관세신문

일본 의존도 90%가 넘는 반도체 핵심소재인 하이엔드급 블랭크마스크를 연내 국내 한 기업에서 양산한다.

산업통상자원부는 종합 소재전문기업인 SKC가 하이엔드급 블랭크마스크 시제품을 국내 수요 기업과 시험 중에 있으며 하반기부터 본격 양산할 예정이라고 밝혔다.

블랭크마스크는 회로 패턴을 그리기 전의 포토마스크 원판이다. 반응시키는 빛의 파장에 따라 불화크립톤(KrF), 불화아르콘(ArF), 극자외선(EUV)용으로 구분되며 ArF와 EUV가 하이엔드급이다.

이 제품은 대(對)일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비 품목에 해당한다. 20대 품목은 내년까지 공급 안정성 확보를 목표로 국내생산 확대, 기술개발, 수입국 다변화 등을 추진 중이다.

SKC는 2018년부터 총 430억원을 투자해 블랭크마스크 신규 공장을 지난해 말 완공했다. 이번에 양산하는 품목보다 더 고도화한 첨단제품을 내년 양산 목표로 개발 중이기도 하다.

정승일 산업부 차관은 이날 천안 SKC 블랭크마스크 공장을 방문해 소재 국산화에 노력한 임직원의 노고에 감사함을 표하며 그간의 정부 소·부·장 정책 지원 계획 등을 밝혔다.

정 차관은 "소·부·장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다"며 "조기성과 창출을 위해 소·부·장 100대 핵심 품목 상용화에 올해 2100억원 이상을 집중적으로 지원하겠다"고 말했다.

이용선 SKC 부사장은 "정부가 신규 공장 완공에 필요한 환경 등 인허가 신속처리, 수입장비 할당관세 적용, 정부 R&D 등을 적기 지원해 준 것에 감사하다"며 "국내 기업들이 소·부·장 정책 추진동력을 유지할 수 있도록 관심을 갖고 지원해달라"고 요청했다. 

      


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